ITO 靶材为铟锡氧化物烧结陶瓷材料，是光电行业常用透明导电材料，报废靶材、边角料、磨削粉、溅射残渣都属于高价值含铟二次资源。物料特点是铟锡伴生，化学稳定性较强，常温下难溶于普通稀酸，需要破碎研磨预处理，增大反应接触面积。主流回收工艺分为湿法浸出与真空碳热还原两类。湿法多用浓盐酸或者硫酸体系浸出，浸出液通过萃取、选择性沉淀分离铟与锡，分别富集；火法真空还原在高温真空环境下将氧化物还原为金属，依靠真空蒸馏分开铟锡，直接产出粗铟。湿法适合处理粉末废料，回收率稳定；火法适合大块废靶，废水产生量更少。
回收时需要留意靶材背衬板，常见铜、钼背衬，浸出前要拆分，避免大量基体金属进入溶液增加除杂压力。废料表面的油污、涂层需要预先脱除，防止有机物影响浸出效率。分离后的锡组分同样具备回收价值，不能只提取铟而忽略综合利用。