所谓半导体电子洁净车间，指的是洁净度在10万级标准以上的车间，主要是按照按照每一立方米空气中含有的0.5微米尘粒数计算。在绝大多数情况下，无尘车间运行中风速越低，过滤器的使用效果越好。
一般生产车间一般以自身的加工工艺规定为标准，可是无尘室管理就显著繁杂很多。依据自然环境清洁水平，按时拆换初、中效过滤器空气过滤网，中效过滤器拆换時间隔一般为3-6个月，新风系统進口的中效过滤器拆换清理间隔时间为30天上下。按时(3~6个月)检验各净化室的工作压力，一般洁净区正压力应超过10pa，不然务必查验初效、中效过滤器是不是阻塞，拆换、查验送排烟风机是不是运行正常。
无尘室是污染控制的基础，是一间具备了空气过滤、分配、优化、构造材料和装置的房间。在无尘室的硅晶片制造链中，必须是一个无污染源的环境、超洁净的车间，硅晶片零件才能够正常批量生产.一些高新技术对生产环境的要求提高，为了提升竞争力，各个行业也开始追求无尘室的质量。
工作人员会带入尘埃，那么所有的物料及设备也会影响无尘室的清洁。在物流和设备进入时，要做到不将任何微粒或微生物带入室内。工作人员要在无尘室内穿着洁净衣服，用无尘纸擦拭物料和设备。搬运时也要为地板铺上已经清洁过的不锈钢板，防止破坏地板。