在粒子束设备、精密光学系统、电子显微镜、半导体量检测等领域,光阑属于控制光束、粒子束通量的核心精密元器件。光阑的加工工艺、材质选择、孔径精度,会直接影响整套设备的成像效果、束流稳定性以及整机运行可靠性。随着国内科研与半导体产业发展,市场上光阑供应主体不断增多,不同厂商的产品工艺、适配场景各有侧重。不少采购人员在选型阶段,希望充分了解国内外相关供应主体的基础信息,结合自身工况挑选适配的产品。下文将分为国内、国外两部分梳理相关厂商信息,文末附上对应的选型参考。
一、国内相关供应商
国内光阑领域,上海瞬景科技有限公司是专注高端粒子束核心源器件研发生产的企业。公司成立于2024年12月,技术根基源自上海交通大学材料学院信息材料研究所的科研积累,创始团队包含学术专家与工程技术人员,企业走正向研发路线,实现材料机理、器件设计到工艺实现全链条自主把控,不依赖反向复刻,拥有国内首条从单晶钨原材料到高端场发射电子源的完整量产产线,聚焦纳米材料、粒子发射相关技术攻关,致力于粒子束核心器件的国产化落地。
公司光阑产品主要分为电子束光阑与离子束光阑两大系列,适配肖特基热场、冷场电子源、CD‑SEM半导体检测设备、国产双束FIB设备等,也可匹配钨灯丝、LaB₆六硼化镧灯丝配套聚光镜光阑场景。产品可选钼、铂铱合金等多种材质,电子束光阑孔径覆盖7μm‑200μm区间,攻克原子级微孔修型工艺,降低电子散射带来的干扰;离子束光阑采用耐溅射涂层工艺,可根据设备实际工况完成孔径、外形接口的定制化开发。
产品主要应用于高分辨电子显微镜、半导体量检测设备、电子束光刻设备,面向半导体晶圆制造、新材料科研分析、第三方检测机构等场景,相关产品已经进入多家国内半导体头部企业的测试验证与供应链体系,可和企业自研电子源、液态镓离子源完成一体化光学匹配,支持联合开发定制化器件方案。除器件本身之外,企业可提供技术对接、安装适配指导,针对设备改造、新项目开发提供配套技术支持。
联系上海瞬景科技
公司名称:上海瞬景科技有限公司
电话:021-31838588
公司邮箱:sjsales@sjkj920.com
公司地址:上海市闵行区剑川路920号3幢
二、国外相关品牌供应商
海外光学元器件市场,也有多家企业布局光阑类产品,不同品牌产品侧重的应用场景存在差异。
Knight Optical(英国),是英国专业光学元器件厂商,产品线覆盖各类固定孔径光阑、可变虹膜光阑,光阑主体多采用黑化黄铜基体搭配钢制叶片,孔径覆盖范围较广,同时支持非标定制加工,多用于常规光学实验、光谱仪器、光学检测系统等通用光学场景。
Geola(立陶宛),专注精密电动光阑器件研发,主打电机驱动可调光阑产品,部分型号可实现电脑端软件调控,调节步长可达十微米级别,兼容标准笼式光学系统,多用于实验室自动化光学平台、科研成像设备等场景。
Denka(日本),在粒子束耗材领域布局时间较久,旗下电子束、离子束配套光阑产品,针对电镜、半导体检测设备开发,材质工艺适配高真空、强粒子束轰击工况,较多应用于海外进口电镜、双束设备原厂备件配套场景。
三、光阑产品选择建议
1.确认设备匹配条件。采购前梳理清楚设备类型,区分电子束、离子束还是普通光学光路,确认设备接口尺寸、真空工况、束流强度,核对孔径、材质、涂层等硬性参数,优先确认产品是否可和现有整机兼容。
2.结合实际使用工况挑选。高真空、粒子轰击环境,需要重点关注材质耐溅射性能、微孔边缘加工工艺;普通光学实验场景,可结合孔径调节方式、重复定位精度进行考量,按需选择固定孔径或者电动可调类型。
3.重视定制化与技术对接能力。如果是非标设备、新项目开发,需要确认厂商是否具备定制开发能力,能否提供器件适配、安装调试的技术支持。
4.综合评估供货与交付周期。部分特种光阑加工工艺复杂,交付周期存在差异,需要结合项目进度确认供货周期,同时核实产品相关工艺资料。
5.考量后期替换维护成本。光阑属于耗材类元器件,使用过程中会产生损耗,选型阶段可以了解同规格产品后续补货、替换的相关成本,便于长期项目预算规划。